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非接觸式原子力顯微鏡 (NC-AFM)
簡介:

非接觸式原子力顯微鏡 (NC-AFM) 又稱動態(tài)力顯微鏡 (DFM),這是一種迄今為止在現(xiàn)實(shí)空間中達(dá)到最高顯微鏡分辨率(亞原子級)的 AFM 模式。大多數(shù) NC-AFM 應(yīng)用都是在超高真空 (UHV) 和/或低溫環(huán)境中進(jìn)行,以便利用高 Q 因子帶來的靈敏度。這對于短程力的測量或原子尺度上的成像非常重要。在相近的條件下,選用共振頻率跟蹤可以獲得比開環(huán)方法更快的響應(yīng)速度,并且還能實(shí)現(xiàn)定量共振增強(qiáng)。


應(yīng)用描述 測量方案 相關(guān)產(chǎn)品
應(yīng)用描述

應(yīng)用介紹

非接觸式原子力顯微鏡 (NC-AFM) 又稱動態(tài)力顯微鏡 (DFM),這是一種迄今為止在現(xiàn)實(shí)空間中達(dá)到最高顯微鏡分辨率(亞原子級)的 AFM 模式。大多數(shù) NC-AFM 應(yīng)用都是在超高真空 (UHV) 和/或低溫環(huán)境中進(jìn)行,以便利用高 Q 因子帶來的靈敏度。這對于短程力的測量或原子尺度上的成像非常重要。在相近的條件下,選用共振頻率跟蹤可以獲得比開環(huán)方法更快的響應(yīng)速度,并且還能實(shí)現(xiàn)定量共振增強(qiáng)。


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為了獲得最佳NC-AFM 性能,從儀器的角度看,有三個方面需要考慮:


共振時最高的相位斜率與最高的靈敏度直接相關(guān)。

操作 NC-AFM 時,應(yīng)當(dāng)采用高 Q 值諧振器(例如石英或 MEMS 傳感器),或者在真空環(huán)境中進(jìn)行以便限制固有損耗。


伺服回路中的電子器件在加速后要有良好的弛豫特性。

Q 值意味著諧振器的固有帶寬小(與 f/2Q 成正比)。為了實(shí)現(xiàn)合理的像素停留時間,需要建立一個經(jīng)過優(yōu)化的鎖相環(huán) (PLL),在速度和分辨率之間實(shí)現(xiàn)最合適的折中。這與輕敲模式即 AM-AFM 方法不同,后者的相位可以自由變化,并且幅度的衰減可以在較長的時間尺度內(nèi)完成。


線性化的系統(tǒng)可以進(jìn)行準(zhǔn)確的定量測量。

可以同時跟蹤相位和幅度,以提供更多有關(guān)耗散過程的信息。通過對共振進(jìn)行緊密跟蹤,我們就能確保幅度的測量一定是在共振峰值處進(jìn)行,從而實(shí)現(xiàn)定量分析所需的最高響應(yīng)和恒定增益放大。


測量方案

測量策略

NC-AFM 通常又稱為調(diào)頻 AFM (FM-AFM),原因在于針尖與樣品的相互作用會導(dǎo)致共振頻率發(fā)生消諧。由于 PLL 的存在,我們可以測量并跟蹤共振頻率的這種偏移,與此同時,自動增益控制器 (AGC) 將保持幅度恒定。


針尖的振蕩反映的是針尖與樣品的相互作用以及諧振器穩(wěn)定可靠的振動之間進(jìn)行卷積的結(jié)果:由于在動態(tài)模式下靜態(tài)影響相互抵消,因此可觀察到的實(shí)際結(jié)果就是與共振頻率偏移直接相關(guān)的力梯度。振蕩的幅度和相位可以通過鎖相探測技術(shù)測量,并且送入兩個不同的 PID 環(huán)中。如圖所示,在 NC-AFM 中,PLL 和 AGC 將共同影響振蕩器的驅(qū)動頻率以及輸出的激發(fā)電壓,從而形成為機(jī)械諧振器提供的驅(qū)動信號(即實(shí)際的信號輸出)。這種方法也可以應(yīng)用于光機(jī)諧振器以及微/納機(jī)電系統(tǒng) (MEMS/NEMS)。


PLL 和 AGC 的作用是鎖定驅(qū)動信號的相位,并將振蕩幅度保持在共振峰值處。這樣就可以使守恒過程與耗散過程相互分離,并保證定量測量得以順利進(jìn)行。MFLIUHFLI 和 HF2LI 鎖相放大器都可以搭配 PLL/PID 選件,通過仿真工具確定特定目標(biāo)環(huán)路帶寬所適用的 P、I 和 D 值,以便對一個或多個反饋環(huán)進(jìn)行優(yōu)化。LabOne 控制軟件中的 PID Advisor 依賴的就是定量 DUT 傳遞函數(shù)模型。


掃描時,所有內(nèi)部信號(例如相位、振幅、頻率和激發(fā)電壓)都可以輸出到模擬 BNC,也可以通過 LabOne 數(shù)據(jù)采集 (DAQ) 模塊或 LabOne API 進(jìn)行數(shù)字記錄。將行尾 (EOL) 觸發(fā)或快速掃描軸作為觸發(fā)信號送入儀器后,我們就可以對齊數(shù)據(jù)以形成圖像。這樣即使有多個本征模態(tài)或諧波,我們也可以同時采集多個圖像。


相關(guān)產(chǎn)品

相關(guān)產(chǎn)品: MFLIUHFLIHF2LI

 

選擇 Zurich Instruments 的好處

無需在速度和分辨率之間進(jìn)行取舍,PID Advisor 能幫助您選取最佳參數(shù)。

LabOne DAQ 模塊讓您可以將數(shù)據(jù)采集與掃描引擎同步,以數(shù)字方式保存所有內(nèi)部信號。

您可以將多頻和直接邊帶探測功能添加到您的設(shè)置方案中,實(shí)現(xiàn)一系列新的操作模式。

只需一個簡單的附件就能增強(qiáng)各種第三方顯微鏡的性能。

您可以通過 LabOne API 將 PLL/PID 功能集成到第三方軟件中。


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