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EddyCus? inline 在線面阻測量儀

簡介：

在線系列以非接觸方式測量各種基質的層屬性，如金屬層厚度、片狀電阻、發射率、殘留水分或克重。相關的基底是玻璃、箔、紙、晶圓、塑料或陶瓷。監測是通過永久測量或通過觸發事件來完成的，以便在快速移動的涂層過程中獲得等距離的結果。監測解決方案可以在大氣或真空條件下實施。使用渦流技術的過程受益于高采樣率。測量結果可以通過客戶的軟件提供給過程控制系統。此外，SURAGUS還提供監測軟件EddyCus EC Control，它可以可視化、存儲和分析計量數據。

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產品特點基本配置應用領域功能圖解硬件外觀軟件界面相關產品

產品特點

EddyCus? inline在線監測系統采用非接觸電渦流原理測量各種導電材料基質的屬性，如金屬層厚度、片材電阻、輻射率、殘留水分或克重等。監測是通過持續測量或通過觸發來完成的，以便在快速移動的涂布過程中檢測。可視化軟件實時展示、存儲和分析，并通過軟件反饋給過程控制系統實現在線監測。該監測解決方案適用于常規或真空環境，適合于場合定制。

其特點是：

極快的 / 高采樣率（1k采樣 / 秒）。

非接觸和非破壞性的

良好的自動化兼容能力

高靈敏度

基本配置

測量技術	非接觸式渦流傳感器
基材	晶錠、晶片、箔、玻璃等。
測量間隙尺寸	3 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 毫米（其他應要求提供）
傳感器對數/監控通道	1 – 99
傳感器尺寸（寬 x 長 x 高），單位為 mm	傳感器 M：80 x 100 x 66 傳感器 S：34 x 48 x 117
導電層	金屬/TCOs/CNTs/納米線/石墨烯/網格/PEDOT/其他
金屬薄膜的厚度測量（例如鋁、銀等）	1 nm – 2 mm（根據薄層電阻）
其他綜合測量	金屬厚度/透光率/密度/各向異性
環境	Ex-vacuo / in-vacuo @ T < 60°C / 140°F（根據要求更高）
采樣率	每秒 1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次測量
硬件觸發	5 / 12 / 24 伏
接口	UDP、.Net 庫、TCP、Modbus、模擬/數字
	VLSR	LSR	MSR	HSR
范圍 [歐姆/平方]	0.0001 – 0.1	0.01 – 10	0.1 – 100	10 – 2,000
精度/偏差			± 1%	± 1 – 3%
重復性 (2σ)			< 0.3%	< 0.5%